泰思肯双束扫描电镜的功能有哪些?
据了解,双束扫描电子显微镜于2017年5月1日启用,随着技术的提升,产品功能日益完善,其应用范围也越来越广泛,能为用户提供轻松,流畅的体验。那么,泰思肯双束扫描电镜的功能有哪些?下面就以TESCAN SOLARIS X 双束 FIB-SEM 系统为例:1、改进和扩展成像功能,获得有意义的衬度。新一代 Triglav™ 镜筒内探测器系统经过优化,信号检测效率提高了三倍。此外,增加的能量过滤功能,可以对轴向 BSE 信号过滤采集。通过选择性地收集低能量轴向 BSE,实现用不同的衬度来增强表面灵敏度。2、超高速三维微分析。镜筒内探测器系统可实现快速图像采集,结合 Xe 等离子体 FIB 的高溅射速率,可实现 3D 微量分析的超快速数据采集。EDS 和 EBSD 数据可以在 FIB-SEM 断层扫描期间同时获得。使用泰思肯双束扫描电镜专用软件进行后处理,可以获得 3D 重建,实现整个焊球、TSV、金属合金等样品的独特微观结构,成分和晶体学信息。3、提供微分析的最佳工作条件。新一代 Triglav™ 还具有自适应束斑优化功能,可提高大束流下的分辨率。这有利于快速实现 EDS,WDS 和 EBSD 等分析技术。4、牺牲空间分辨率,而实现快速微分析。Triglav™ SEM 镜筒结合新型肖特基 FE 枪,可实现高达 400 nA 的电子束流,并实现束流快速调整。In-Flight Beam Tracing™ 功能可以实现束流和束斑优化,满足微区分析的最佳条件。关于泰思肯双束扫描电镜的功能,小编就先为大家介绍到这里。TESCAN 泰思肯是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者和技术领导者。更多产品信息,可关注TESCAN 泰思肯官网。
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